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J-GLOBAL ID：201302263389594666   整理番号：13A1328470

多結晶およびエピタキシャルマグネトロンスパッタZnO:AlおよびZn_1-xMg_xO:Al膜の電子および構造特性の比較研究-結晶粒バリアトラップの起源

A comparative study of electronic and structural properties of polycrystalline and epitaxial magnetron-sputtered ZnO:Al and Zn_1-xMg_xO:Al Films-Origin of the grain barrier traps

著者 (2件)： BIKOWSKI Andre (Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...) ,  ELLMER Klaus (Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 114  号： 6  ページ： 063709-063709-10  発行年： 2013年08月14日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *アルミニウム ,  マグネトロンスパッタリング ,  構造特性 ,  *多結晶 ,  *結晶粒 ,  電子 ,  捕獲 ,  ヘテロエピタクシー ,  ホモエピタクシー ,  基板温度 ,  *エレクトロトランスポート ,  X線回折 ,  透過型電子顕微鏡 ,  光反射 ,  光吸収 ,  光透過 ,  *結晶粒界 ,  欠陥密度 ,  基板 ,  結晶構造 ,  半値幅 ,  ロッキングカーブ ,  格子定数 ,  Hall移動度 ,  エピタクシー ,  半導体薄膜 ,  結晶方位 ,  化合物半導体 ,  *マグネシウム化合物 ,  *亜鉛化合物 ,  *酸化物 ,  *ドーピング ,  電気抵抗率
準シソーラス用語： サファイア基板 ,  トラップ【固体】 ,  *酸化亜鉛マグネシウム ,  断面TEM

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (11件)： 多結晶 ,  ZnO ,  Al ,  Al膜 ,  電子 ,  構造特性 ,  研究 ,  結晶粒 ,  バリア ,  トラップ ,  起源