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J-GLOBAL ID:201302263800328697   整理番号:13A1443789

SEL-有感領域写像および金属線からの反射と回折がレーザSEE試験に及ぼす影響

SEL-Sensitive Area Mapping and the Effects of Reflection and Diffraction From Metal Lines on Laser SEE Testing
著者 (14件):
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巻: 60  号: 4,Pt.1  ページ: 2550-2558  発行年: 2013年08月 
JST資料番号: C0235A  ISSN: 0018-9499  CODEN: IETNAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シングルイベントラッチアップ(SEL)は宇宙放射線環境におけるCMOS回路の信頼性に関する重要な問題である。SEL有感体積の位置と横方向の広がりは殆ど知られていない。本研究では,SRAMなどの高密度集積回路を模擬したトポロジーを有する試験構造のSEL敏感領域を調べた。敏感領域は前面入射単一光子吸収レーザと背面入射二光子吸収レーザを用いて調べた。金属線からSi方向へ散乱したレーザビームはシングルイベント効果(SEE)に寄与し得ることを示唆した。反射及び回折レーザビームがSEE応答に寄与する可能性のあるレーザビームエネルギーとメタライゼーションの構成について述べた。
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分類 (2件):
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半導体の放射線による構造と物性の変化  ,  固体デバイス計測・試験・信頼性 

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