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J-GLOBAL ID：201302263801079054   整理番号：13A0822873

グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発(第1報)-マルチ産学連携共同研究プロジェクト設立の概要-

著者 (5件)： 土肥俊郎 (九大 産学連携セ) ,  山崎努 (九大 産学連携セ) ,  瀬下清 (九大 産学連携セ) ,  市川大造 (九大 産学連携セ) ,  市川大造 (不二越機械工業)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J23  発行年： 2013年02月27日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高性能・多機能デバイスを効率良く製造するためには,適用する難加工材料に見合った効率的な加工プロセスを設計する必要があり,一連のプロセスに関わる各分野が一体となった有機的組織を設立する必要がある。本研究では,難加工材料の最適加工工程を構築すべくマルチ産学連携コンソーシアムを設立し,グリーンデバイスとして脚光を浴びている先端的材料にフォーカスして,超精密スマート加工プロセス技術を提案する。(著者抄録)

シソーラス用語： 基板 ,  研究開発 ,  プロジェクト ,  *最適化 ,  超精密加工 ,  工程 ,  *固体素子
準シソーラス用語： オプトエレクトロニクスデバイス ,  スマート加工プロセス ,  *ナノ加工技術 ,  プロセス ,  共同研究 ,  *結晶基板 ,  作業工程 ,  産学連携 ,  難加工材料

分類 (3件)： 電力変換器  (NB08030B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (11件)： グリーン ,  結晶 ,  加工プロセス ,  研究 ,  開発 ,  マルチ ,  産学連携 ,  共同 ,  プロジェクト ,  設立 ,  概要