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J-GLOBAL ID：201302264273545656   整理番号：13A0656177

CMOS-MEMS共振器の共振周波数に対する温度効果のシミュレーションとモデリング

Simulation and Modeling the Effect of Temperature on Resonant Frequency of a CMOS-MEMS Resonator

著者 (4件)： AHMED A. Y. (Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS) ,  DENNIS J. O. (Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS) ,  KHIR M. H. Md (Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS) ,  SAAD M. N. Mohamad (Universiti Teknologi PETRONAS, Perak, MYS)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 1482  ページ： 32-36  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： CMOS ,  MEMS共振器 ,  共振周波数 ,  温度効果 ,  シミュレーション ,  モデリング