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J-GLOBAL ID：201302264536016386   整理番号：13A1564589

酸化物半導体TFT最前線 酸化物半導体TFT:装置から見たディスプレイバックプレーン技術の革命

著者 (1件)： SCHEER Evelyn (Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
資料名： 月刊ディスプレイ  (プロセスエンジニアのための月刊ディスプレイ)
巻： 19  号： 10  ページ： 54-61  発行年： 2013年10月01日 
JST資料番号： L4454A  ISSN： 1341-3961  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ディスプレイ産業での酸化物半導体TFT技術の急速な採用による課題と可能性について,特にApplied Mterial社AKTグループの大面積薄膜成膜装置に焦点を当てて紹介した。アモルファス酸化物半導体の発見と,大面積ディスプレイデバイス上の利点を簡単に説明し,AKTグループのプラズマCVDおよびPVD装置の改良,さらに開発の進捗状況について,単層の能力だけでなく,酸化物TFT製造装置能力にも焦点を当てて説明した。その後,アモルファス酸化物半導体TFTの安定性を高める大面積PVDプロセスによるAl₂O₃成膜など,有機EL技術用の新しいプロセスと,最後に高移動度TFTに関するAKTグループの研究開発状況を紹介した。

シソーラス用語： *フラットパネルディスプレイ ,  非晶質半導体 ,  *化合物半導体 ,  薄膜トランジスタ ,  プリント基板 ,  面積 ,  薄膜成長 ,  *プラズマCVD ,  物理蒸着 ,  酸化アルミニウム ,  エレクトロルミネセンス ,  有機半導体 ,  キャリア移動度
準シソーラス用語： PVD ,  TFT【トランジスタ】 ,  アモルファス半導体 ,  バックプレーン ,  *酸化物半導体 ,  大面積 ,  透明アモルファス酸化物半導体 ,  有機EL

分類 (2件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸化物半導体 ,  TFT ,  ディスプレイ ,  バックプレーン