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J-GLOBAL ID：201302265744118067   整理番号：13A1177666

ウエハビンマップ欠陥診断のためのインテリジェントシステム:半導体製造のための実証的研究

An intelligent system for wafer bin map defect diagnosis: An empirical study for semiconductor manufacturing

著者 (2件)： LIU Chiao-Wen (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHIEN Chen-Fu (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Engineering Applications of Artificial Intelligence  (Engineering Applications of Artificial Intelligence)
巻： 26  号： 5-6  ページ： 1479-1486  発行年： 2013年05月 
JST資料番号： T0797A  ISSN： 0952-1976  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 欠陥診断 ,  インテリジェントシステム ,  半導体製造 ,  実証的研究