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J-GLOBAL ID：201302266433493740   整理番号：13A1749144

QCM法により開発したArFレジストにおける膨潤挙動の研究(3) 膨潤層弾性率の観測

Study of swelling behavior in ArF resist during development by the QCM method (3) -Observations of swelling layer elastic modulus-

著者 (1件)： SEKIGUCHI Atsushi (Litho Tech Japan Co., Ltd., Saitama, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8682  ページ： 86821L.1-86821L.12  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 紫外線露光したときに架橋により液体から固体に変化する光架橋性アクリル樹脂のArFレジストを用いて,QCM法によってインピーダンスを測定した。また,粘度計を用いて同じレジストの粘度係数を測定した。データ解析において,インピーダンスは膨潤層の粘度の定性的指数として良く使用されるが,定量的には使用されない。本報では,インピーダンス値を弾性率に変換する方法を開発した。本報を適用して,TMAH展開液およびTBAH展開液での進展で生成したArFレジストにおける膨潤層の粘度の変化を比較した。

シソーラス用語： 化学分析 ,  *膨潤 ,  *弾性係数 ,  紫外線 ,  光架橋 ,  アクリル樹脂 ,  *インピーダンス ,  粘度 ,  *フォトレジスト ,  アルゴン化合物 ,  フッ化物 ,  エキシマレーザ
準シソーラス用語： QCM法 ,  フッ化アルゴン

分類 (2件)： 高分子固体の物理的性質  (CG02024U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： QCM法 ,  開発 ,  ARF ,  レジスト ,  膨潤 ,  挙動 ,  研究 ,  弾性率 ,  観測