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J-GLOBAL ID：201302266548402004   整理番号：13A1316249

非晶質陽極酸化ZrO₂-WO₃-SiO₂ナノフィルムのプロトン伝導度

Proton conductivity of amorphous anodic ZrO₂-WO₃-SiO₂ nanofilms

著者 (4件)： YE Ke (Hokkaido Univ., Hokkaido, JPN) ,  AOKI Yoshitaka (Hokkaido Univ., Hokkaido, JPN) ,  NAGATA Shinji (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HABAZAKI Hiroki (Hokkaido Univ., Hokkaido, JPN)
資料名： 東北大学金属材料研究所金属ガラス総合研究センター共同利用研究報告書
巻： 2012  ページ： 15-16  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： L3700A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 中間温度域で作動する燃料電池用に,ナノメーター厚さの電解質層の開発が進められている。本研究では,ZrO₂-WO₃-SiO₂ナノフィルムのプロトン伝導度を測定した。厚さ約350nmのZr₃₇W₄₇Si₁₅薄膜をガラス基板上にDCマグネトロンスパッタリング法により堆積した。その後リン酸電解液中で陽極酸化することでZrO₂-WO₃-SiO₂ナノフィルムを得た。Au電極を堆積後,ACインピーダンス分光法によりプロトン伝導度を評価した。250°C以下の低温においても充分なプロトン導電性を示した。また,雰囲気中のO₂あるいはH₂Oによる影響は見られなかった。

シソーラス用語： 薄膜 ,  陽極酸化処理 ,  *酸化膜 ,  酸化ジルコニウム ,  酸化タングステン ,  二酸化ケイ素 ,  *ナノ構造 ,  *超薄膜 ,  *プロトン伝導 ,  *燃料電池 ,  電解質 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  マグネトロンスパッタリング ,  リン酸 ,  電解液 ,  *アノード酸化 ,  金電極 ,  スペクトロスコピー ,  酸素 ,  水 ,  *タングステン合金 ,  ジルコニウム含有合金 ,  ケイ素含有合金 ,  *ナノシート ,  インピーダンス分光法 ,  ガラス基板 ,  非晶質薄膜 ,  *ナノ薄膜 ,  *化成皮膜
準シソーラス用語： *ナノフィルム

分類 (3件)： その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O) ,  化成処理  (WC08050J) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非晶質 ,  陽極酸化 ,  ZrO2 ,  SiO2 ,  ナノフィルム ,  プロトン伝導度