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J-GLOBAL ID：201302267562753380   整理番号：13A0028676

均質バルクPZTの横方向インターデジタル電極駆動

Transverse Interdigitated Electrode Actuation of Homogeneous Bulk PZT

著者 (5件)： HAREESH Prakruthi (Univ. Maryland, MD, USA) ,  MISRI Isaac (Univ. Maryland, MD, USA) ,  YANG Shuang (Univ. Maryland, MD, USA) ,  YANG Shuang (Johns Hopkins Univ., MD, USA) ,  DEVOE Don L. (Univ. Maryland, MD, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 6  ページ： 1513-1518  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 横方向インターデジタル電極(transverse interdigitated electrode: TIE)形状を採用した,均質バルク・チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)微小アクチュエーターの実現に成功した。広く入手可能なバルクPZTシートを圧電基板材料とし,2段階のフォトリソグラフィー工程と1段階の金属化工程により,微小アクチュエーターの作製を達成した。作製工程では,電極間隙を適切に選択してPZT内の電界傾斜をうまく利用した。また,分極条件も最適化した。127μm厚のPZTから作った,インターデジタル電極間隙が50~150μmの片持ちはりデバイスの準静的及び動的特性を求め,解析的な有限要素法モデルと一致する実験結果を得た。

シソーラス用語： *マイクロアクチュエータ ,  発破 ,  *圧電素子 ,  *誘電分極 ,  モード ,  *微粉体 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *微細加工 ,  パターン形成 ,  電場勾配 ,  間隙 ,  *膜電極 ,  片持梁 ,  有限要素法 ,  曲げ ,  誘電体薄膜 ,  *フォトリソグラフィー ,  メタライゼーション
準シソーラス用語： ポーリング【分極】 ,  曲げモード ,  電極ギャップ ,  交差指型電極

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (4件)： バルク ,  PZT ,  横方向 ,  デジタル