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J-GLOBAL ID：201302268417997374   整理番号：13A0084309

薄膜作製技術を用いたZr系金属ガラスの表面改質とナノテクノロジーへの応用

著者 (1件)： 嶋敏之 (東北学院大 工)
資料名： 東北大学金属材料研究所金属ガラス総合研究センター共同利用研究報告書
巻： 2011  ページ： 62-63  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： L3700A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属ガラスのナノテクノロジーへの応用を最終目的として,異なる組成のZr-Cu-Ni-Al薄膜をスパッタ法により堆積し,非晶質化の条件を検討した。マルチターゲット高速スパッタリング装置により厚さ約1μmの膜を形成し,EPMAによる組成分析,XRDによる構造解析さらにナノインデンターによる硬度測定を行った。合金組成と投入電力を変化させた。結果としてZr組成が65~75at.%の合金では容易にアモルファス合金が得られることを明らかにした。また,製膜速度を小さくすることで,Zr濃度が80at.%の合金でもアモルファス化が確認できた。これら得られた非晶質薄膜を用いてナノインプリントによる転写特性の評価が可能となった。

シソーラス用語： *金属薄膜 ,  *金属ガラス ,  *ジルコニウム合金 ,  銅添加合金 ,  ニッケル添加合金 ,  アルミニウム添加合金 ,  *スパッタ蒸着 ,  *アモルファス化 ,  X線回折 ,  微小硬さ
準シソーラス用語： ナノインプリント

分類 (1件)： 機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 薄膜作製 ,  Zr ,  金属ガラス ,  表面改質 ,  ナノテクノロジー ,  応用