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J-GLOBAL ID：201302269054047154   整理番号：13A0528641

白層上に形成したTiNコーティング膜の密着性および微細組織

Microstructures and Adhesions of TiN Film Coated on White Layer

著者 (7件)： 後裕介 (兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻) ,  後裕介 (ウメトク株式会社) ,  岡井大祐 (兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻) ,  山本厚之 (兵庫県立大学大学院工学研究科物質系工学専攻) ,  山中英司 (ウメトク株式会社) ,  谷口善一 (ウメトク株式会社) ,  田中好孝 (ウメトク株式会社)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 77  号： 1  ページ： 1-6 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 工具鋼などにPVDコーティング処理を施すための前処理として,窒化処理が行われている。窒化処理を行うと最表面に白層(化合物層)が生成し,ポーラス構造の白層上には硬いPVD膜は形成されないと報告されている。本研究では,ε窒化物(Fe_2~3N)の含有率が高い白層を形成できるガス軟窒化を前処理として行い,研磨工程を変えSKD61上の表面状態の異なる白層上にTiNコーティング膜を成膜し,密着性および断面組織の評価,解析を行った。平滑なε窒化物からなる白層上ではTiN膜の密着性は良好であったが,白層の研磨を行わない試料ではTiN膜の剥離が生じた。白層が存在する試料では,TiN膜下に黒層と白層が観察された。

シソーラス用語： *工具鋼 ,  高合金鋼 ,  中炭素合金鋼 ,  *イオンめっき ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  前処理 ,  軟窒化 ,  *ガス窒化 ,  *表面性状 ,  研磨 ,  鉄化合物 ,  ε相 ,  表面構造 ,  密着性 ,  剥離 ,  相組成 ,  物理蒸着 ,  表面粗さ ,  押込硬さ ,  圧痕 ,  引かき試験 ,  X線回折分析 ,  電子顕微鏡観察 ,  AE検査 ,  微細構造
準シソーラス用語： SKD61 ,  窒化チタン ,  窒化鉄 ,  界面組織 ,  走査電子顕微鏡法 ,  微細組織

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (15件)：

• SANCHETTE, F. Surf. Coat. Technol. 1997, 94, 95, 261-267
• ENDRINO, J. L. Surf. Coat. Technol. 2006, 200, 6840-6845
• SKORIC, B. Vacuum. 2004, 76, 169-172
• BUECKEN, B. Surf. Coat. Technol. 1994, 68, 69, 244-248
• SMOLIK, J. Surf. Coat. Technol. 2000, 125, 134-140

タイトルに関連する用語 (5件)： 白 ,  TiN ,  コーティング膜 ,  密着性 ,  微細組織