文献

J-GLOBAL ID：201302269881115623   整理番号：13A0637586

分割測定法による回転精度検査用標準器の形状評価とその不確かさ推定

Profile Uncertainty Estimation for Roundness Measurements of Glass Hemisphere Using the Multistep and Phase Combination Methods

著者 (3件)： 佐藤浩志 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  渡部司 (産業技術総合研 計測標準研究部門) ,  藤本弘之 (産業技術総合研 計測標準研究部門)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 49  号： 3  ページ： 386-393  発行年： 2013年03月31日 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密加工の分野における形状成分の推定の不確かさ成分のうちのマルチステップ法の分割数に起因する不確かさを分割測定法によって推定する手法を提案した。不確かさを推定には,ステージ上の回転テーブルを使用して基準球を異なった角度に回転させ,測定角度をずらして測定を行うマルチステップ法と,異なる分割数で行ったマルチステップ法の測定結果を使用してフーリエ成分を補った波形曲線を求める位相組み合わせ法を取り上げた。最適な分割数の決定には,偶然成分の標準不確かさと目標精度と拡張不確かさを考慮する必要性を指摘した。最適分割数決定のシミュレーションを行った結果,位相組み合わせ法では基本波形とする分割数は多い方がよいことが確認された。

シソーラス用語： 精度 ,  *標準器 ,  方式 ,  不確実性 ,  *真円度 ,  形態 ,  *形状測定
準シソーラス用語： *回転精度 ,  断面形状 ,  *不確かさ推定法

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (15件)：

• 幾何偏差の定義及び表示. JIS B 0621:1972. 1972
• 真円度測定織. JIS B 7451:1997. 1997
• 製品の幾何特性仕様(GPS)-表面性状 : 輪郭曲線方式-位相補償フィルタの特性. JIS B 0632:2001. 2001
• WHITEHOUSE, D. J. Some theoretical aspects of error separation techniques in surface metrology. J. Physics E. 1976, 9, 7, 531-536
• CHETWYND, D. G. Improving the accuracy of roundness measurement. J. Physics E. 1976, 9, 7, 537-544

タイトルに関連する用語 (6件)： 測定法 ,  回転精度 ,  検査 ,  標準器 ,  評価 ,  不確かさ推定