文献

J-GLOBAL ID：201302270137847495   整理番号：13A1582798

メタルアシストエッチングと陽極酸化アルミナを用いた規則配列Siナノワイヤの形成と反射率特性評価

著者 (3件)： 山口卓也 (関西大) ,  清水智弘 (関西大) ,  新宮原正三 (関西大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.G21  発行年： 2013年08月28日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ナノワイヤ配列の上部の凝集が反射率に与える影響を調査した。ナノワイヤの作製にはウェットエッチング法であるメタルアシストエッチング法に陽極酸化アルミナ(AAO)を組み合わせた方法を用いた。乾燥法によりナノワイヤが束状に凝集したサンプルと乗直に配列したサンプルを作り分け,反射率を比較した。ナノワイヤ配列の反射率は凝集することにより500-700nmの可視光領域でさらに低減されることが明らかとなった。(著者抄録)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *ナノワイヤ ,  基板 ,  配列 ,  *反射率 ,  エッチング ,  アノード酸化 ,  アルミナ ,  乾燥 ,  凝集 ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： メタルアシストエッチング ,  光学特性評価

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 陽極酸化アルミナ ,  規則配列 ,  Si ,  ナノワイヤ ,  反射率 ,  特性評価