文献

J-GLOBAL ID：201302271680472465   整理番号：13A1186208

圧電アクチュエータによるXYマイクロ位置決めステージの非線形モデル化と非干渉制御

Nonlinear Modeling and Decoupling Control of XY Micropositioning Stages With Piezoelectric Actuators

著者 (4件)： XIE Yangqiu (Shanghai Normal Univ., Shanghai, CHN) ,  XIE Yangqiu (Xidian Univ., Xi’an, CHN) ,  TAN Yonghong (Shanghai Normal Univ., Shanghai, CHN) ,  DONG Ruili (Shanghai Normal Univ., Shanghai, CHN)
資料名： IEEE/ASME Transactions on Mechatronics  (IEEE/ASME Transactions on Mechatronics)
巻： 18  号： 3  ページ： 821-832  発行年： 2013年06月 
JST資料番号： W0894A  ISSN： 1083-4435  CODEN： IATEFW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電アクチュエータによるXYマイクロ位置決めステージのモデル化法を提案した。このステージの各軸の特性を記述するのに,ヒステリシスのあるサンドイッチモデルを構築した。このサンドイッチモデルでは,増幅器-フィルタ回路と作業プラットフォームを線形動的サブモデルでモデル化し,圧電アクチュエータのヒステリシス挙動を記述するのにニューラルネットワークを使用した。また,他の軸に起因する結合運動を記述するためのニューラルサブモデルを構築した。さらに,ヒステリシスと相互作用外乱の影響を補償するために,非干渉方式と結合した追従制御戦略を提案した。

シソーラス用語： *アクチュエータ ,  *位置決め装置 ,  *制御 ,  モデリング ,  ヒステリシス ,  追従制御 ,  非線形制御系 ,  数学モデル ,  システム同定 ,  ニューラルネットワーク ,  位置決め ,  位置制御
準シソーラス用語： Hammersteinモデル ,  *X-Yステージ ,  *圧電アクチュエータ ,  *非干渉制御 ,  非線形モデリング

分類 (1件)： 電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧電アクチュエータ ,  ステージ ,  非線形モデル ,  非干渉制御