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J-GLOBAL ID：201302272033981796   整理番号：13A1360421

角度人工板に基づく高精度な回転計測台用の軸上自己キャリブレーション法

An on-axis self-calibration approach for precision rotary metrology stages based on an angular artifact plate

著者 (6件)： HU Chuxiong (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  HU Chuxiong (Zhejiang Univ., Hangzhou, CHN) ,  ZHU Yu (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  HU Jinchun (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  XU Dengfeng (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  ZHANG Ming (Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 24  号： 8  ページ： 085007,1-10  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 角度人工板を利用した回転計測台用の軸上自己キャリブレーション法を提案した。人工板の標線を支援ツールとして考えた。人工板は様々なアラインメントの校正してない回転計測台に置いた。公称角度位置からの標線のずれを測定し,ずれは台の誤差,人工板の誤差,ミスアラインメント誤差,そしてランダム測定雑音の組合せで表した。円が閉じる原理と軸方位の定義を基に,各測定のミスアラインメント誤差は代数処理により直接決定できる。様々な測定結果を比較して,移行性と冗長性を得て,最小2乗計算を合成して,台の誤差を決定し,ランダム測定雑音を対処した。標準的な角度自己キャリブレーション手続きを説明する人工板を設計し,様々な測定の角度マークをどのようにして測定するか実際的な方法を述べた。計算機シミュレーションを行って,様々なランダム測定誤差が存在するとき,提案した方法により,台の誤差を正確に実現できることを示した。

シソーラス用語： *角度測定 ,  測定誤差 ,  試料台 ,  *作業台 ,  精度 ,  キャリブレーション ,  ベンチマーク ,  回転計
準シソーラス用語： アライメント精度 ,  *自己キャリブレーション ,  標線

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 人工 ,  計測 ,  自己キャリブレーション