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J-GLOBAL ID：201302272446358990   整理番号：13A0794838

MEMS共振器に対する一定構造抵抗制御による温度安定性の向上

ENHANCEMENT OF TEMPERATURE STABILITY VIA CONSTANT-STRUCTURAL-RESISTANCE CONTROL FOR MEMS RESONATORS

著者 (4件)： CHEN Cheng-Chi (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  YU Huan-Tse (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LI Guan-Hsien (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LI Sheng-Shian (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.2  ページ： 765-768  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS共振器の熱的安定性を向上するために,一定構造抵抗制御法による周波数の能動的温度補償を,ピエゾ抵抗センシングによる熱的駆動ドッグボーンバルク音響共振器(熱-ピエゾ抵抗II-BAR)を用いて,実証した。シリコンベースMEMS構造の温度依存抵抗により実現した固有の温度センサを用い,一定構造温度に導き,大気温度変化による周波数ドリフトを大きく緩和した。実効周波数温度係数(TCf)を,1点較正によるバイアスパワー同調の手動制御下で測定した。一定構造抵抗により,温度範囲62Kで,従来と比較して温度安定性が46倍向上することを実験により示した。温度補償を,一定抵抗制御および非縮退ドーピングと同時に組み合わせた場合,~1 ppb/°Cが妥当であると考察した。

シソーラス用語： *共振器 ,  温度補償 ,  電気抵抗 ,  音響共振器 ,  温度センサ ,  温度係数 ,  *MEMS
準シソーラス用語： MEMS共振器 ,  ピエゾ抵抗 ,  *温度安定性 ,  周波数温度係数 ,  抵抗制御 ,  薄膜バルク音響共振器

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS共振器 ,  抵抗制御 ,  温度安定性