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J-GLOBAL ID：201302275371487852   整理番号：13A1086894

RFスパッタリングによるInSb添加TiO₂ナノ複合材料

InSb-added TiO₂ nanocomposite films by RF sputtering

著者 (1件)： ABE Seishi (Res. Inst. for Electromagnetic Materials, 982-0807, Sendai, JPN)
資料名： Nanoscale Research Letters (Web)  (Nanoscale Research Letters (Web))
巻： 8  号： 1  ページ： 1-6  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： U7001A  ISSN： 1931-7573  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,RFスパッタリングによるInSb添加TiO₂ナノ複合材料の調製を調べた。光吸収スペクトルは明らかに可視および近赤外領域にシフトした。高分解能透過型電子顕微鏡法は,約15nmの寸法をもつ球形InSbナノ結晶が母材中に分散していることを示した。X線回折結果は,母材が,TiO₂そして723Kでのポストアニーリング中にinSbを分離することにより生成されるIn₂O₃の相混合物を形成することを明らかにした。したがって,吸収シフトは明らかに広バンドギャップTiO₂およびIn₂O₃に埋め込まれたInSbナノ結晶の量子寸法効果に起因する。Copyright 2013 Abe; licensee Springer. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： RFスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *酸化チタン ,  *ナノ複合材料 ,  *アンチモン化インジウム ,  *光吸収スペクトル ,  高分解能電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  *ナノ結晶 ,  分散【dispersion】 ,  球状 ,  酸化インジウム ,  埋込み【挿入】 ,  *量子サイズ効果
準シソーラス用語： 高分解能透過型電子顕微鏡

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： RFスパッタリング ,  InSb ,  TiO2 ,  ナノ複合材料