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J-GLOBAL ID：201302277178885363   整理番号：13A1562499

電気化学手法を用いたMEMSベース地震センサの特性

The Characteristics of MEMS Based Seismic Sensors Using the Electrochemical Approach

著者 (5件)： FAN Yunjie (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  WANG Junbo (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  DENG Tao (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  CHEN Deyong (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN) ,  HE Wentao (Inst. Electronics, Chinese Acad. Sci., Beijing, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 562/565 Pt.2  ページ： 486-489  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 他の機械的地震センサと比べて,電気化学地震センサは低周波で有利であり,地震学に置いて広く使用されている。また,消費電力が少なく,長期間の動作が可能である。低周波での電気化学センサをMEMSに基づいて低雑音で導入した例はあるが,センサ特性についての振動試験と研究は多くない。ここでは,一連のシミュレーションと振動試験を通して,MEMSに基づく電気化学地震センサの特性を示した。結果は,MEMSベース地震センサが10^-13V²/Hzの低い雑音と,120dbの広いダイナミックレンジを有することを確認した。周波数範囲は0.02Hzから60Hzであり,速度範囲は0.1cm/sから1cm/sまでであった。

シソーラス用語： *電気化学 ,  *センサ ,  LF【周波数】 ,  地震学 ,  消費電力 ,  期間 ,  雑音 ,  振動試験 ,  シミュレーション ,  ダイナミックレンジ ,  速度
準シソーラス用語： *MEMSセンサ ,  *地震センサ ,  長期 ,  低雑音 ,  低周波

分類 (2件)： 地震学一般  (DC03020A) ,  電気化学一般  (CB07010N)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電気化学 ,  手法 ,  MEMS ,  地震センサ