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J-GLOBAL ID：201302277735590231   整理番号：13A0896654

流動層リアクター中の粒状ポリシリコン製造に於けるSiCl₄の再循環

Recycling of SiCl₄ in the manufacture of granular polysilicon in a fluidized bed reactor

著者 (4件)： WANG Chenjing (Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...) ,  WANG Tiefeng (Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...) ,  LI Peilong (Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...) ,  WANG Zhanwen (Beijing Key Lab. of Green Reaction Engineering and Technol., Dep. of Chemical Engineering, Tsinghua Univ., Beijing ...)
資料名： Chemical Engineering Journal  (Chemical Engineering Journal)
巻： 220  ページ： 81-88  発行年： 2013年03月15日 
JST資料番号： D0723A  ISSN： 1385-8947  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トリクロロシラン(SiHCl₃)とシリコンテトラクロライド(SiCl₄)の混合物から流動層リアクター(FBR)中の粒状ポリシリコンの製造について研究した。反応温度(800-1200°C),H₂のSiHCl₃及びSiCl₄に対するモル比(0-100%)の影響を研究した。反応ガスをガスクロマトグラフ(GC)により分析した。生成粒子の表面モルフォロジーを走査電子顕微鏡により分析した。良く成長した製品粒子が得られた。反応温度と反応体組成は顕著にSi収率と生成する析出Siのkg当たりのSiCl₄量に影響した。結果はSiHCl₃とSiCl₄の混合物を反応体としてFBR中で用いることによって正味ゼロの副生SiCl₄を実現出来ることを示し,一方充分なSi収率は残った。この為の適切な反応条件は1200°Cに於いてH₂/SiHCl₃/SiCl₄のモル比が16/0.5/0.5であった。これに対応するSiHCl₃のワンスル-転化率とSi収率はそれぞれ21.1%と9.6%で,これは純粋SiHCl₃を使う改善されたSiemens法より高かった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 流動層反応器 ,  粒状材 ,  *ポリシリコン ,  製造 ,  ケイ素化合物 ,  塩化ケイ素 ,  *再循環 ,  反応温度 ,  モル比 ,  転化率 ,  収率
準シソーラス用語： トリクロロシラン ,  *四塩化ケイ素

分類 (1件)： 反応操作(単位反応)  (XE01040I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 流動層 ,  リアクター ,  ポリシリコン ,  SiCl4 ,  再循環