文献
J-GLOBAL ID：201302278186451506
整理番号：13A0994113
InP/InGaAsP導波路のスラントエッチングを用いた垂直光カプラの開発
Development of a vertical optical coupler using a slanted etching of InP/InGaAsP waveguide
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著者 (7件)：
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資料名：
巻：
10
号：
6
ページ：
20130116-20130116 (J-STAGE)
発行年：
2013年
JST資料番号：
U0039A
ISSN：
1349-2543
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
短報
発行国：
日本 (JPN)
言語：
英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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スラントエッチミラーを用いた光ファイバとInPベース導波路間の垂直結合のための簡単で効率的光カプラを提示した。エッチミラーの角度は,InP/InGaAsPのRIEの間に基板の下に挿入されたアルミニウム治具を用いて制御した。オフチップカプラを同時にたった1回のエッチングプロセス高メサ導波路で作成した。テーパー単一モードファイバ間の結合損失は,1530-1570nmの波長内にて7.3dBが得られた。(翻訳著者抄録)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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準シソーラス用語：
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分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
光導波路,光ファイバ,繊維光学
引用文献 (7件)：
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[1] B. Zhu, T. F. Taunary, M. F. Yan, J. M. Fini, M. Fishteyn, E. M. Monberg, and F. V. Dimarcello, “Seven-core multicore fiber transmission for passive optical network,” Opt. Express, vol. 18, no. 11, pp. 11117-11122, 2010.
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[2] D. Taillaert, P. Bienstman, and R. Baets, “Compact efficient broadband grating coupler for silicon-on-insulator waveguides,” Opt. Lett., vol. 29, no. 23, pp. 2749-2751, 2004.
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[3] L. Chen, L. Zhang, C. R. Doerr, N. Dupuis, N. G. Weimann, and R. F. Kopf, “Efficient Membrane Grating Couplers on InP,” IEEE Photon. Technol. Lett., vol. 22, no. 12, pp. 890-892, 2010.
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[4] F. V. Laere, M. V. Kotlyar, D. Taillaert, D. V. Thourhout, T. F. Krauss, and R. Baets, “Compact Slanted Grating Couplers Between Optical Fiber and InP-InGaAsP Waveguides,” IEEE Photon. Technol. Lett., vol. 19, no. 6, pp. 396-398, 2007.
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[5] M. Nakada, K. Takahashi, T. Takahashi, A. Higo, H. Fujita, and H. Toshiyoshi, “Development of Skewed DRIE Process and its Application to Electrostatic Tilt Mirror,” Proc. 22nd IEEE Int. Conf. Micro Electro Mechanical Systems, Sorrento, Italy, pp. 1087-1090, 2009.
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