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J-GLOBAL ID：201302279021945969   整理番号：13A1182621

渦電流形変位センサの温度ドリフトの要因

Factors of Temperature Drift of Eddy-current Displacement Sensor

著者 (6件)： 渡辺隆志 (信州大) ,  大村洸平 (信州大) ,  BU Yinggang (信州大) ,  水野勉 (信州大) ,  榎木茂実 (新川センサテクノロジ) ,  品川宏樹 (新川センサテクノロジ)
資料名： 電気学会マグネティックス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MAG-13  号： 28-47  ページ： 85-90  発行年： 2013年06月20日 
JST資料番号： Z0924A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 発電用タービンの軸振動検出に用いられる渦電流形変位センサにおける自励励振方式の温度ドリフトの要因を解明するため,コイルと同軸ケーブルのインピーダンスの温度依存性を調べた。渦電流型変位センサ(EC変位センサ)のセンサ先端にコイルが配置された構造を示し,EC変位センサの等価回路を提示した。コイルとセンサプローブの理論式を示し,温度ドリフトの影響をコイル分とケーブル分に分ける式を導いた。測定対象であるクロムモリブデン鋼の抵抗率と比透磁率を測定し,同軸ケーブルの特性インピーダンスと温度特性の測定データを示した。EC変位センサの温度ドリフトの実測値を示し,コイルインピーダンスの変化の影響が大きいことを明らかにした。

シソーラス用語： 渦電流 ,  *センサ ,  変位測定 ,  温度依存性 ,  同軸ケーブル ,  インダクタ ,  インピーダンス ,  電気測定 ,  等価回路 ,  低合金鋼 ,  電気抵抗率 ,  透磁率
準シソーラス用語： *変位センサ ,  クロムモリブデン鋼

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (10件)：

• (1)片山照栄,柴田幸男,高橋清,山崎弘郎:センサハンドブック,pp.423-424,培風堂,1986.
• (2)猪又仁:非接触高温用変位計とその応用,計測と制御,Vol. 20, No.4, pp.441-447,1981.
• (3)三井彰:高温用・低温用変位計,センサ技術,Vol. Il, No.13, pp.75-77,1991.
• (4) N. Matsumura, H. Machida, T. Nakahara, "Temperature Drift Reduction Method of an Eddy Current Displacement Sensor," IEEJ, Jan., Vol. 126, No. 3, pp. 169-177,(2006)(in Japanese) 松村憲明・溝口 正信・町田博・中原崇文:渦電流形変位センサの温度ドリフト低減法,電学論A, Vol.126, No.3, pp.169-177(2006)
• (5) T. Mizuno, K. Deguchi, Y. Kitamura, S. Enoki, H. Shinagawa: Consideration on Lwngth of Coaxial Cable for Improvement in Temprature Drift of Eddy-current Displacement Sensor, IEEJan., MAG-10-085, pp. 33-38(2010)(in Japanese) 水野勉,出口見多,北村善紀,榎木茂実,品川宏樹:渦電流形変位センサの測斐ドリフトを改善するための同軸ケーブルの長さの検討, 電気学会マグネティックス研究会資料,MAG-10-085, pp.33-38,2010.

タイトルに関連する用語 (4件)： 渦電流 ,  変位センサ ,  温度ドリフト ,  要因