JUNGHAEHNEL M. について
Fraunhofer Inst. Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU について
FIETZKE F. について
Fraunhofer Inst. Electron Beam and Plasma Technol. FEP, Dresden, DEU について
VINNICHENKO M. について
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, Dresden, DEU について
CORNELIUS S. について
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, Dresden, DEU について
Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters について
マグネトロンスパッタリング について
酸化チタン について
ニオブ について
ドーピング について
薄膜成長 について
インライン処理 について
ターゲット について
膜厚 について
焼なまし について
電気抵抗率 について
透過率 について
屈折率 について
XANES について
透明導電膜 について
堆積速度 について
大面積 について
酸化物薄膜 について
導体材料 について
マグネトロンスパッタリング について
成膜速度 について
スパッタ について
TiO2 について
Nb について
進展 について