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J-GLOBAL ID：201302282750789218   整理番号：13A0146847

TiN膜の微細構造及び表面特性に及ぼすパルスバイアスデューティ比の効果

Effects of pulsed bias duty ratio on microstructure and surface properties of TiN films

著者 (11件)： YONGQIANG Wei (School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...) ,  YONGQIANG Wei (State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  YONGQIANG Wei (Engineering Technol. Res. Center of Aviation Manufacturing & Equipment, Univ. of Henan Province, Zhengzhou 450015, CHN) ,  XIAOXIA Chen (School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...) ,  XIUBO Tian (State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  CHUNZHI Gong (State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  SHIQIN Yang (State Key Lab. of Advanced Welding and Joining, Harbin Inst. of Technol., Harbin 150001, CHN) ,  ZHIQIANG Jiang (School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...) ,  ZHIQIANG Jiang (Engineering Technol. Res. Center of Aviation Manufacturing & Equipment, Univ. of Henan Province, Zhengzhou 450015, CHN) ,  LIANGJI Chen (School of Mechatronics Engineering, Zhengzhou Inst. of Aeronautical Ind. Management, No. 2, Daxue Middle Street ...) ,  LIANGJI Chen (Engineering Technol. Res. Center of Aviation Manufacturing & Equipment, Univ. of Henan Province, Zhengzhou 450015, CHN)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 89  ページ： 185-189  発行年： 2013年03月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TiN膜を,アークイオンプレーティングシステムを用いて,Cr18Ni9Tiステンレス鋼基板上に堆積した。デューティ比の増大と共に,マクロ粒子の量は減少し,表面粗さは,60%デューティ比において,0.074μmであった。TiN膜は,強い(111)優先配向を示したが,他の面は,大きくは変化しなかった。TiN膜の硬度は,60%デューティ比において,1160HVの最大硬度に達した。40%デューティ比において堆積したTiN膜は,腐食に対する最良の耐性を示した。TiN被覆試料の腐食電流密度は,非被覆試料より二桁低かった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： チタン化合物 ,  窒化物 ,  *ステンレス鋼 ,  *イオンめっき ,  稼働率 ,  表面粗さ ,  優先配向 ,  *微小硬さ ,  *耐食性 ,  *セラミック被覆 ,  防食
準シソーラス用語： *アークイオンプレーティング ,  *デューティ比 ,  *窒化チタン

分類 (4件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  防食  (WB03040M) ,  腐食  (WB03030B)

タイトルに関連する用語 (3件)： TiN膜 ,  微細構造 ,  表面特性