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J-GLOBAL ID：201302283114442557   整理番号：13A0840835

ミクロシステム応用のため大気圧プラズマを用いるPDMS-LTCC接合

A PDMS-LTCC bonding using atmospheric pressure plasma for microsystem applications

著者 (1件)： MALECHA Karol (Fac. of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw Univ. of Technol., Wybrzeze Wyspianskiego 27, 50-370 Wroclaw, POL)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 181  ページ： 486-493  発行年： 2013年05月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： LTCC(低温共焼成セラミックス)技術を用いて製作された硬質基板に対する透明PDMS(ポリジメチルシロキサン)の接合方法を本稿で示した。両物質間の接合は誘電体バリア放電(DBD)のアルゴン或いは酸素/アルゴンプラズマでそれらの表面を活性化して達成される。表面修飾過程は大気圧にて実施される。PDMS及びガラス被覆LTCC試験試料の接合過程及び組成に及ぼす作用ガスタイプの影響はX線光電子分光法(XPS),Fourier変換赤外分光法-減衰全反射(FTIR-ATR),接触角及び表面粗さ測定を用いて調査される。更に,物質及びPDMS-LTCC接合の気密性間の接着力は検討される。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *大気プラズマ ,  *セラミック ,  *ポリジメチルシロキサン ,  X線光電子分光法 ,  ATR分光法 ,  FTIR分光法 ,  接触角 ,  表面粗さ ,  気密性 ,  無声放電 ,  アルゴン ,  酸素 ,  表面改質 ,  *微量分析
準シソーラス用語： *LTCC【セラミック】 ,  低温共焼成セラミック ,  FTIR-ATR

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 応用 ,  大気圧プラズマ ,  PDMS ,  LTCC