文献

J-GLOBAL ID：201302283700205017   整理番号：13A1756539

極高真空排気システム

Extreme High Vacuum Pumping System

著者 (1件)： 渡辺文夫 (有限会社真空実験室)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 56  号： 6  ページ： 230-233 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超高真空(XHV)排気システムは0.2ベリリウム銅合金からできたチャンバーからできている。このシステムは,捕獲ポンプと組合せた新しく開発したピル状非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプを使って真空排気する。これはまた我々のオリジナルのイオンゲージ,及びXHVと同等な低い出ガスの残留ガス分析計を備えている。このXUV排気システムを使うと,10^-10Pa領域の圧力が大気圧から24時間以内に到達できる。

シソーラス用語： *極高真空 ,  *真空ポンプ ,  銅合金 ,  ベリリウム添加合金 ,  真空容器 ,  ゲッタポンプ ,  残留ガス ,  四重極質量分析計

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (8件)：

• 1) P. A. Redhead, J. P. Hobson and E. V. Kornelsen: The Physical Basis of Ultrahigh Vacuum (Chapmen and Hall, London, 1968) p. 97.
• 2) F. Watanabe: J. Vac. Sci. Technol. A, 22 (2004) 181 and 739.
• 3) F. Watanabe: Shinku, 49 (2006) 349.
• 4) H. Kurisu, T. Muranaka, N. Wada, S. Yamamoto, M. Matsuura, M. Hesaka: J. Vac. Sci. Technol. A, 21 (2003) L10.
• 5) F. Watanabe: Shinku, 48 (2005) 633.

タイトルに関連する用語 (2件)： 極高真空 ,  排気