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J-GLOBAL ID：201302285612564484   整理番号：13A0645284

ヘルスケアと環境応用のための圧電リング形共振器の振動数シフトとサポート損失に及ぼすサポート形状の影響の分析的研究

An analytical study of the effect of a support geometry on frequency shift and support loss of piezoelectric ring-shaped resonators for healthcare and environmental applications

著者 (4件)： WANG Dong F. (Ibaraki Univ., Micro Engineering and Micro Systems Lab. (i-MEMS-Lab), Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of ...) ,  SAGAWA Takahisa (Ibaraki Univ., Micro Engineering and Micro Systems Lab. (i-MEMS-Lab), Dep. of Mechanical Engineering, Fac. of ...) ,  LU Jian (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Res. Center for Ubiquitous MEMS and Micro ...) ,  MAEDA Ryutaro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Res. Center for Ubiquitous MEMS and Micro ...)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 19  号： 4  ページ： 503-508  発行年： 2013年04月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1つのサポートがあるリング形共鳴器が設計された。リング形共鳴器は,圧電効果で電気的信号に変換できた固有状態か振動数シフトを提供するために質量摂動と反応する。前述のリング形共鳴器は,主に,シリコン・オン・インシュレータウエハ上にデポジットされたPt/Ti/PZT/Pt/Ti/SiO₂の多層からなり,輪郭モードになるように予想される。質量摂動に対してリング形共振器の感度を見積もるために,理論解析がANSYSによって次の2つの局面から行われた。(a)振動数シフトとサポートの損失(振動モードの形の見地から)に及ぼすサポート形状の影響。(b)そして,質量適用方法論。狭いサポートで小さな振幅振動区域が,より小さく,台形サポートの振動数シフトは長方形サポートのものより高いのがわかった。Copyright 2012 Springer-Verlag Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 共振器 ,  ウエハ【IC】 ,  SOI構造 ,  振幅 ,  振動数 ,  プログラムパッケージ ,  応用プログラム ,  *リング共振器 ,  支持物
準シソーラス用語： *圧電共振器 ,  ANSYS ,  *支持

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： ヘルスケア ,  環境 ,  応用 ,  圧電 ,  共振器 ,  損失 ,  研究