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J-GLOBAL ID：201302286325249639   整理番号：13A1638682

ラインビーム整形されたフェムト秒パルスを用いたレーザー加工

Laser Processing with Line-Beam Shaped Femtosecond Pulses

著者 (2件)： 長谷川智士 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ) ,  早崎芳夫 (宇都宮大 オプティクス教育研究セ)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 41  号： 10  ページ： 821-826  発行年： 2013年10月15日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 空間光変調器に表示された計算機ホログラムを利用したフェムト秒レーザ加工法では,並列微細構造を高効率で高スループットに加工できる。xy平面に強度がライン状に分布するフェムト秒レーザを利用して,様々な材料の加工について検討した。ラインビームの生成法を解析し,これに基づいて実験光学系を構築した。チタンサファイア再生増幅器,液晶型空間光変調器,加工光学系などを利用した。白板ガラスの加工の結果を示した。また,ITO薄膜の剥離加工やステンレスの溝加工も行った。ライン整形されたフェムト秒パルスを利用した加工法は有効であることが分かった。

シソーラス用語： *パルスレーザ ,  フェムト秒 ,  計算機ホログラム ,  *レーザ加工 ,  スループット ,  空間光変調素子 ,  ステンレス鋼 ,  再生増幅器 ,  基板 ,  サファイア ,  板ガラス ,  *パルスレーザ照射 ,  *レーザアブレーション ,  サファイアレーザ ,  溝加工 ,  *フェムト秒レーザ ,  Ti-サファイアレーザ
準シソーラス用語： サファイア基板 ,  チタンサファイアレーザ

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

引用文献 (14件)：

• 1) Y. Kuroiwa, N. Takeshima, Y. Narita, S. Tanaka, and K. Hirao:\nOpt. Express 12 (2004) 1908.
• 2) H. Itoh, N. Matsumoto, and T. Inoue: Opt. Express 17 (2009) 14367.
• 3) C. L. Quesada, J. Andilla, and E. M. Badosa: Appl. Opt. 48 (2009)\n1084.
• 4) Y. Hayasaki, T. Sugimoto, A. Takita, and N. Nishida: Appl. Phys.\nLett. 87 (2005) 031101.
• 5) N. Sanner, N. Huot, E. Audouard, C. Larat, J. P. Huignard, and B.\nLoiseaux: Opt. Lett. 30 (2005) 1479.

タイトルに関連する用語 (3件)： ビーム整形 ,  フェムト秒パルス ,  レーザー加工