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J-GLOBAL ID：201302287643411050   整理番号：13A0282882

単結晶ダイヤモンド中の自立した機械的及びフォトニックナノ構造

Free-Standing Mechanical and Photonic Nanostructures in Single-Crystal Diamond

著者 (10件)： BUREK Michael J. (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  DE LEON Nathalie P. (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  SHIELDS Brendan J. (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  HAUSMANN Birgit J. M. (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  CHU Yiwen (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  QUAN Qimin (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  ZIBROV Alexander S. (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  PARK Hongkun (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  LUKIN Mikhail D. (Harvard Univ., Massachusetts, USA) ,  LONCAR Marko (Harvard Univ., Massachusetts, USA)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 12  号： 12  ページ： 6084-6089  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,酸素プラズマのエッチング方向をFaradayケージにより制御し,表面に対し斜めの角度からの異方性プラズマエッチを行い,電子線リソグラフィーでマスクを施した平面基板に3次元構造を作製する技術を示した。バルクの単結晶ダイヤモンド中に,横梁のナノ力学共振器,光導波路,及び光学結晶と微小ディスク空洞を含み自立するナノスケールの素子を斜めエッチ法により作製した。作製したこれら素子は,古典的及びフォトニック光素子からナノ力学に基づいたセンサ,作動素子の原型として応用の可能性を有する。

シソーラス用語： プラズマ ,  プラズマエッチング ,  *方向 ,  静電遮蔽 ,  *ナノ構造 ,  *素子構造 ,  *ダイヤモンド
準シソーラス用語： Faradayシールド ,  *エッチング方向 ,  酸素プラズマ ,  *自立素子 ,  *単結晶ダイアモンド

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (2件)： 単結晶ダイヤモンド ,  自立