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J-GLOBAL ID：201302287728228000   整理番号：13A1409767

p-NiO/n-ZnO透明ヘテロ接合センサ素子による光支援芳香族VOCセンシング

Photo-assisted aromatic VOC sensing by a p-NiO:Li/n-ZnO transparent heterojunction sensor element

著者 (5件)： NAKAMURA Yoshinobu (Dep. of Applied Chemistry, School of Engineering, The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-0033, JPN) ,  ISHIKURA Yui (Dep. of Materials Sci. and Ceramic Engineering, Shonan Inst. of Technol., 1-1-25 Tsujidou Nishikaigan, Fujisawa ...) ,  MORITA Yusuke (Dep. of Materials Sci. and Ceramic Engineering, Shonan Inst. of Technol., 1-1-25 Tsujidou Nishikaigan, Fujisawa ...) ,  TAKAGI Hidenori (Dep. of Physics, School of Sci., The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-0033, JPN) ,  FUJITSU Satoru (Materials and Structures Lab., Tokyo Inst. of Technol., 4529 Nagatsuta, Midori, Yokohama, Kanagawa 226-8503, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 187  ページ： 578-585  発行年： 2013年10月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： p-NiO/n-ZnO透明ヘテロ接合ダイオードをRFマグネトロンスパッタリング法を利用する連続膜蒸着によって調製し,フォトリソグラフィによるパターン化と化学エッチングによって化学センサ素子に加工した。簾状センサアレイは,大気向きpn接合界面を有し,そのI-V応答が暗所下でVOCs(揮発性有機化合物)の導入によってわずかに改善される。芳香族VOCsのセンサ性能は遠紫外光(λ=254nm)照射下で顕著に増強され,光電流がVOC濃度の関数として迅速に減少する。光励起VOC吸着質とp-NiOの価電子帯(VB)間の光駆動電子輸送が,本システム中でのVOCセンシングに必須である。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化ニッケル ,  *酸化亜鉛 ,  *揮発性有機化合物 ,  *芳香族化合物 ,  *ヘテロ接合 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  フォトリソグラフィー ,  パターン形成 ,  エッチング ,  センサアレイ ,  PN接合 ,  真空紫外線 ,  光電流 ,  価電子バンド ,  電子移動 ,  透明電極
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  薄膜蒸着 ,  化学エッチング ,  光誘起電子移動

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ZnO ,  ヘテロ接合 ,  センサ素子 ,  支援 ,  芳香族 ,  VOC ,  センシング