200J高速小型高密度プラズマ・フォーカス装置からのネオンの軟X線放出物の最適化:軟X線リソグラフィーの潜在源

文献

J-GLOBAL ID：201302287878431890 整理番号：13A1328777

Optimization of neon soft X-rays emission from 200 J fast miniature dense plasma focus device: A potential source for soft X-ray lithography

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巻： 377 号： 18 ページ： 1290-1296 発行年： 2013年
JST資料番号： C0600B ISSN： 0375-9601 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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