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J-GLOBAL ID：201302288012140574   整理番号：13A1783475

白金薄膜抵抗の構造変化による水素応答評価とブリッジ型水素センサの開発

著者 (6件)： 牛田祐貴 (岡山大) ,  奥井貴博 (岡山大) ,  武市修蔵 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (電気・情報関連学会中国支部連合大会(CD-ROM))
巻： 64th  ページ： 417  発行年： 2013年10月01日 
JST資料番号： L1892B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  水素 ,  抵抗 ,  薄膜 ,  白金 ,  応答 ,  チタン ,  膜厚 ,  *ブリッジ回路 ,  評価試験 ,  スパッタリング ,  社会問題 ,  環境問題
準シソーラス用語： *ブリッジ型水素センサ ,  水素応答 ,  白金薄膜抵抗

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  その他の電子回路  (NC05090X)

タイトルに関連する用語 (7件)： 白金薄膜 ,  水素 ,  応答 ,  評価 ,  ブリッジ ,  水素センサ ,  開発