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J-GLOBAL ID：201302288097682362   整理番号：13A0021209

ポリマ材料を用いた導波路型光スイッチの作製に関する研究

著者 (2件)： 小澤優介 (群馬大 大学院工学研究科) ,  三浦健太 (群馬大 大学院工学研究科)
資料名： 群馬大学アドバンスト・テクノロジー高度研究センター年報  (Annual Report of GU-ATEC)
号： 16  ページ： 58-59  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： L6814A  資料種別： 年次報告 (Y)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来の石英系光スイッチに比べ低消費電力なポリマ系マッハチェンダー干渉計(MZI)型の熱光学効果光スイッチの作製を試みた。MZI型では,一方の導波路部分に位相制御部であるTiヒータとAl電極を真空蒸着法によって成膜し,加熱することで屈折率を変え,それによって光の伝播速度が変わり,もう一方を通る光との位相差を利用してスイッチングを可能にしている。MZI型導波路の作製方法については,プロトンビームをポリマ材料であるPMMAに照射することにより,PMMAの高分子鎖が切断され,屈折率を上昇させるという効果を利用すること,プロトンビーム照射にはシングルエンド加速器を使うことなどを説明した。評価試験では,波長1550nm帯で消光比9.0dB,消費電力43.9mWのスイッチング特性が得られた。実用化に向けて消光比を改善するには,Ti蒸着時に発生するPMMAのひび割れを防ぐなどの対策が必要であるとした。

シソーラス用語： *光導波路 ,  *光通信 ,  通信路容量 ,  *光スイッチ ,  スイッチング ,  *熱光学効果 ,  *高分子 ,  *消費電力 ,  Mach-Zehnder干渉計 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  リソグラフィー ,  屈折率
準シソーラス用語： 陽子ビーム描画

分類 (1件)： その他の光伝送素子  (BD06040S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ポリマ材料 ,  導波路 ,  光スイッチ ,  作製 ,  研究