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J-GLOBAL ID：201302288626124800   整理番号：13A1654818

最近接統計を用いたPt/HfO₂/Ptキャパシタにおける絶縁破壊スポットの空間分布解析

Analysis of the breakdown spot spatial distribution in Pt/HfO₂/Pt capacitors using nearest neighbor statistics

著者 (5件)： SAURA X. (Departament d’Enginyeria Electronica, Univ. Autonoma de Barcelona, 08193 Cerdanyola del Valles, Barcelona, ESP) ,  SUNE J. (Departament d’Enginyeria Electronica, Univ. Autonoma de Barcelona, 08193 Cerdanyola del Valles, Barcelona, ESP) ,  MONAGHAN S. (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland) ,  HURLEY P. K. (Tyndall National Inst., Univ. Coll. Cork, Cork, Ireland) ,  MIRANDA E. (Departament d’Enginyeria Electronica, Univ. Autonoma de Barcelona, 08193 Cerdanyola del Valles, Barcelona, ESP)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 114  号： 15  ページ： 154112-154112-9  発行年： 2013年10月21日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *絶縁材料 ,  *酸化ハフニウム ,  白金電極 ,  *MIM構造 ,  円盤電極 ,  *絶縁破壊 ,  確率密度関数 ,  空間分布 ,  熱影響 ,  故障モード ,  近接効果 ,  *絶縁体
準シソーラス用語： 電圧ストレス ,  熱効果

分類 (2件)： 誘電体一般  (BM05010F) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F)

タイトルに関連する用語 (8件)： 統計 ,  Pt ,  HfO2 ,  キャパシタ ,  絶縁破壊 ,  スポット ,  空間分布 ,  解析