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J-GLOBAL ID：201302289463080938   整理番号：13A0794807

オンチップ光機械加速度計

AN ON-CHIP OPTO-MECHANICAL ACCELEROMETER

著者 (7件)： DONG B. (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  DONG B. (Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  CAI H. (Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  TSAI J.M. (Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  KWONG D.L. (Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore) ,  LIU A.Q. (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  LIU A.Q. (Inst. Microelectronics, Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.1  ページ： 641-644  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS光加速度計は電磁干渉に耐性があることなどから注目されている。しかし,集積化が難しいと言う問題がある。本稿では,導波路型変位センサの集積化を検討した。ナノ導波路,リング共振器,アークからなる光変位センサで,加速度による試験質量の変位が共振波長に与える影響を理論的に調べて,設計した。ウィスパリングギャラリモードリング共振器を変位センサとした。CMOS準拠プロセスで,DUVリソグラフィーとPECVD法を用いて加速度センサを作製した。作製した本センサの±gにおける透過スペクトルを測定した。この結果により,本センサの感度は15pm/gであることを示した。この値はシミュレーションの感度3.279pm/gよりも高感度であった。

シソーラス用語： *超小形回路技術 ,  *加速度計 ,  振動モード ,  シミュレーション ,  MEMS ,  導波路 ,  *センサ ,  集積 ,  リング共振器 ,  半導体プロセス ,  リソグラフィー ,  プラズマCVD ,  スペクトル ,  透過スペクトル ,  変位センサ ,  囁きの回廊モード
準シソーラス用語： CMOSプロセス ,  PECVD ,  ウィスパリングギャラリモード ,  オンチップ ,  集積化

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： オンチップ ,  加速度計