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J-GLOBAL ID:201302290311507187   整理番号:13A0486591

リモートセンシング用CMOS画像センサチップの大スケールセラミックパッケージ

A Large-scale Ceramic Package of the CMOS image sensor chip for Remote Sensing application
著者 (5件):
資料名:
巻: 8466  ページ: 84660L.1-84660L.6  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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セラミックパッケージを用いたリモートセンシング用CMOS画像センサチップの製造について提案した。提案した大スケールセラミックパッケージは,宇宙環境で使用するCMOS画像センサチップを保護する。チップは0.18μmCMOS技術で製造され,チップ面積は通常のものより遥かに大きく25×120mmである。セラミックパッケージは,セラミック基板,カバーガラス,チップシール,ガラスシール,金線などから構成される。その寸法は,155×60×7.87mmであり,各々の側に76ピンのグリッドアレイ(PGA)を有する。セラミックパッケージに対して,宇宙環境を想定した熱衝撃,振動及び真空試験を実施し,信頼性を実証した。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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