孔における指向性自己集合についての散逸粒子動力学研究

NAKANO T.; MATSUKUMA M.; MATSUZAKI K.; MURAMATSU M.; TOMITA T.; KITANO T.

文献

J-GLOBAL ID：201302291182244944 整理番号：13A1749020

孔における指向性自己集合についての散逸粒子動力学研究

Dissipative Particle Dynamics Study on Directed Self-Assembly in Holes

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=13A1749020&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=13A1749020&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0943A") }}

著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 8680 ページ： 86801J.1-86801J.6 発行年： 2013年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ラインと孔のモフォロジーは,プロセス条件に依存する。ブロック共重合体(BCP)の指向性自己集合(DSA)を制御する一つの方法は,前もってパターン化したトポグラフィー表面を用いるグラフォエピタキシである。所望のナノ構造を得るためには,前もって作製したパターンが最適サイズであることと最適湿潤性であることが必要である。最適な円筒プロファイルを予測するために,散逸粒子動力学シミュレーションによって,前もってパターン化した円筒孔中の重合体A及びBからなるBCPの円筒モフォロジーを報告する。重合体Bからなる円筒の構成は,下地層とBCPガイド壁の親和性の変化に伴って変化する。下地層の場合,両方の重合体種に中立であると,最も安定な円筒形状になる。親和性がどちらかの重合体に変換すると,円筒形状が歪む。ある孔のCDに関して,AウェットからBウェットへ移行するガイド壁の場合に,円筒を構成する重合体Bは徐々に緩み,最終的にガイドに積層する。さらに,円筒はウェットBに関してより大きな孔を形成する。孔のCDのための自由エネルギーも調査し,プロファイルから,Aウェット壁とBウェット壁は,それぞれ,孔CDの狭い範囲と広い範囲の孔縮小に適していることが分かる。その理由は,Aウェット壁の自由エネルギーは,孔CD変化に対して大きく変化するからである。これとは対照的に,Bウェット壁の自由エネルギーは大きな変化を示さず,プロファイルは,円筒形状がAウェット壁よりも広い範囲で比較的安定することを示す。

, , , , , ,
,

固体デバイス製造技術一般

, , ,

前のページに戻る