文献

J-GLOBAL ID：201302291203948904   整理番号：13A0758371

選択領域有機金属化学蒸着によって形成したナノ細孔と量子ドット

Nanopores and Quantum Dots by Selective Area Metalorganic Chemical Vapor Deposition

著者 (1件)： COLEMAN J. J. (Univ. Illinois, IL, USA)
資料名： Annual Meeting of the IEEE Photonics Society  (Annual Meeting of the IEEE Photonics Society)
巻： 2012  ページ： 776-777  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0931A  ISSN： 1092-8081  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自己組織化量子ドットは,基本的にサイズと分布の乱れの度合いによって特徴づけられる。ダイオードレーザなどに応用する場合,パターン化された量子ドットのように秩序化された分布を持つ量子ドットが非常に有利である。本稿では,GaAs表面上に形成したIn_0.25Ga_0.75Asを基本とするダイオードレーザに適した量子ドットや反転量子ドット(ナノ細孔)構造の形成に関する,有機金属化学蒸着,電子ビームリソグラフィーによるパターニング,選択領域成長,あるいは湿式化学エッチングとその特性について報告する。ナノサイズの細孔から成る逆量子ドットも,量子ドットと同じような量子化エネルギー構造とk空間における分散関係を持つことが分かった。細孔間の強い相互作用によって,エネルギー状態は強く局在した離散的なエネルギー準位ではなく,許容エネルギーバンドと禁制エネルギーバンドを形成することが分かった。更に,格子の周期性が高次のエネルギー状態に影響を及ぼし,高次のエネルギー状態に分布するキャリア寿命を延長することが分かった。更に,ナノ細孔を持つ系に関する光ルミネセンス,および対応する量子井戸からの光ルミネセンスを比較した。

シソーラス用語： *選択成長 ,  *MOCVD ,  *細孔 ,  *量子ドット ,  ヒ化ガリウム ,  基板 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  エッチング ,  バンド構造 ,  キャリア寿命 ,  *光ルミネセンス ,  赤外発光スペクトル ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： *ナノ細孔 ,  化学エッチング ,  湿式エッチング ,  領域選択成長

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 有機金属化学蒸着 ,  ナノ細孔 ,  量子ドット