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J-GLOBAL ID：201302291223209776   整理番号：13A0794821

汎用センシングネットワークノードのための低コスト片面’SiN/POLY-Si/Al’マルチユーザプロセスモジュールで設計製造されたモノリシック複合センサ

MONOLITHIC COMPOSITE-SENSORS DESIGNED AND FABRICATED BY A LOW-COST SINGLE-SIDE ‘SiN/POLY-Si/Al’ MULTI-USER PROCESS-MODULE FOR VERSATILE SENSING-NETWORK NODES

著者 (8件)： NI Zao (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  YANG Chen (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  XU Dehui (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  ZHOU Hong (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  ZHOU Wei (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  LI Tie (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  XIONG Bin (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  LI Xinxin (Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 26th Vol.1  ページ： 697-700  発行年： 2013年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： センシングネットワークでは複雑な環境センシングやモニタリングの増大と共に,多機能センシングノードが必要になってきた。本稿では,圧力,加速度,温度,赤外(PATIR)をセンシングするMEMS複合センサを検討した。表面/バルクマイクロマシンプロセスを利用して,モノリシックなPATIR複合センサを作製した。圧電抵抗センサSi基板上にSiN隔膜の疑似真空チャンバを作製した。加速度計はSiN支持層にCu質量とポリシリ圧電抵抗器からなるSiN梁で作製した。赤外線検出器は吊り下げSiN吸光層にポリシリ/Al熱電対で構成した。温度検知にはSiN絶縁層上にポリシリ部を設けた。作製したPATIRセンサの特性を評価した。この結果により,低価格なセンシングネットワーク用の複合センサを作製できることを示した。

シソーラス用語： *ネットワーク ,  コンピュータ ,  通信装置 ,  検出 ,  原価 ,  顧客 ,  利用者 ,  一体構造 ,  *センサ ,  マイクロマシン
準シソーラス用語： セルフセンシング ,  ネットワークノード ,  マルチユーザ ,  *モノリシック構造 ,  低コスト ,  複合化

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 汎用 ,  片面 ,  SiN ,  Si ,  Al ,  設計