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J-GLOBAL ID:201302291419234213   整理番号:13A1182578

多重積層InAs量子ドットによる半導体増幅器の作製

Fabrication of semiconductor optical amplifier using highly stacked InAs quantum dot
著者 (5件):
資料名:
巻: OQD-13  号: 27-30  ページ: 7-10  発行年: 2013年06月20日 
JST資料番号: Z0922A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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利得媒質として多重積層InAs量子ドットを使用して半導体光増幅器(SOA)を作製した。また,歪補償技術により結晶品質を損なうことなく,20層の多重積層InAs量子ドット層を作り,その量子ドット層を用いたSOAの特性評価を行った。多重積層量子ドットを形成する基板にはInP(311)B基板を用いた。製作したSOAモジュールのASEスペクトルは1.55μm帯での発光を示した。最大利得は1510nmにおいて15dBであった。使用した歪補償法は量子ドット1層と埋込層1層で歪エネルギーが相殺される構成であるので,多重積層構造の製作には様々なパラメータおよび設計が可能となる。
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