文献

J-GLOBAL ID：201302291663820906   整理番号：13A0896424

集束マイクロ波Ar/CH₄/H₂プラズマジェットにより合成した超ナノ結晶ダイヤモンド膜の成長,構造,および透明性に対するCH₄濃度の効果

Effect of CH₄ concentration on the growth behavior, structure, and transparent properties of ultrananocrystalline diamond films synthesized by focused microwave Ar/CH₄/H₂ plasma jets

著者 (6件)： LIAO Wen-hsiang (Dep. of Mechanical Engineering and Inst. of Manufacturing Technol., National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106 ...) ,  LIAO Wen-hsiang (Graduate Inst. of Mechanical and Electrical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106, Taiwan) ,  LIN Chii-ruey (Dep. of Mechanical Engineering and Inst. of Manufacturing Technol., National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106 ...) ,  LIN Chii-ruey (Graduate Inst. of Mechanical and Electrical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106, Taiwan) ,  WEI Da-hua (Dep. of Mechanical Engineering and Inst. of Manufacturing Technol., National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106 ...) ,  WEI Da-hua (Graduate Inst. of Mechanical and Electrical Engineering, National Taipei Univ. of Technol., Taipei 106, Taiwan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 270  ページ： 324-330  発行年： 2013年04月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束マイクロ波Ar/CH₄/H₂(アルゴンリッチ)プラズマジェットにより成長した超ナノ結晶ダイヤモンド(UNCD)膜の成長機構,ナノ構造,および光学的透明性を系統的に研究した。結果によれば,ダイヤモンド膜の結晶粒径および表面粗さはプラズマジェット中のCH₄濃度とともに増加したが,高いCH₄濃度で合成した膜中ではナノ微結晶が分散した結果として,膜中の非ダイヤモンド成分は対応した減少を示さなかった。この理由は,C₂/H_αおよびCH/C₂の相対放出強度比が,CH₄濃度の増加によって,それぞれ増加および減少し,合成中における非ダイヤモンド相のエッチングおよびダイヤモンドの再核形成を低下させたためであった。透過型電子顕微鏡によれば,プラズマジェットに1%のCH₄を導入すると球形構造(4~8nm)のUNCD膜を生じたが,5%のCH₄を導入すると樹枝状構造のナノ結晶ダイヤモンド(NCD)膜中に細長い(長さ約90nm,幅約35nm)の結晶粒を生じた。ダイヤモンド膜の透過性は,UNCDからNCDに変わるにつれて徐々に低下した。これは膜の表面粗さと非ダイヤモンド成分が増加し,それらが共同して光子の透過において光散乱および吸収を増加させたためであった。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノ結晶 ,  *プラズマジェット ,  アルゴン ,  水素 ,  *透過率 ,  プラズマCVD ,  半導体薄膜 ,  核形成 ,  樹枝状結晶 ,  表面粗さ ,  Ramanスペクトル ,  発光分析 ,  *ダイヤモンド ,  蒸着膜 ,  光学定数 ,  アルカン
準シソーラス用語： *超ナノ結晶

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  プラズマ流,プラズマの電磁流体力学  (BJ02040I) ,  光物性一般  (BM08010A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (8件)： 集束 ,  マイクロ波 ,  Ar ,  H2 ,  プラズマジェット ,  ナノ結晶ダイヤモンド膜 ,  成長 ,  透明性