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J-GLOBAL ID：201302293035743334   整理番号：13A1389674

ミリ波波長可変移相器へ応用するための長ストローク千鳥配置縦型櫛形駆動アクチュエータ

Large Stroke Staggered Vertical Comb-Drive Actuator for the Application of a Millimeter-Wave Tunable Phase Shifter

著者 (6件)： LI Yunjia (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  PSYCHOGIOU Dimitra (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  KUEHNE Stephane (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  HESSELBARTH Jan (Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU) ,  HAFNER Christian (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  HIEROLD Christofer (ETH Zurich, Zurich, CHE)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22  号： 4  ページ： 962-975  発行年： 2013年08月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ここでは,導波路マウント可変ミリ波移相器としての大きな静的偏向を持つMEMSアクチュエータの設計,作製,そして,特性化を明らかにする。アクチュエータは,縦型櫛形駆動によって操作され,SU-8ねじればねによって吊るされた一対の交差指マイクロプレートからなる。SU-8ばねは,低いねじり剛性と高い面内安定性を可能にする薄い金属被覆上層と逆T形状横断面を持つ。35Vのdc操作電圧下で10.3°の最大機械偏向を得る。デバイスの動的特性化から,ねじりモードの共振周波数は,他の3つの曲げモードから良く分離されることが分かる。このことは,設計した低いねじり剛性と高い面内安定性を確認するものである。ねじり粘弾性クリーピングを種々の負荷で時間の関数として測定し,27.5Vの印加電圧で最大0.5°であることが分かる。高度な動作サイクル試験を行い,金属被覆SU-8ばねは,疲労を示さずに8億回のサイクルに耐える。RF測定から,0°から8.2°へ機械偏向角を変えることによって伝送位相シフトが58.0°まで変化することが分かる。測定した挿入損失は98GHzで常に5.1dB以下であり,この値は11.5°/dBの性能指数に対応する。

シソーラス用語： *移相器 ,  可変性 ,  *EHF波 ,  櫛形 ,  *アクチュエータ ,  静電気 ,  導波路 ,  MEMS ,  剛性 ,  ねじり ,  偏向 ,  共振周波数 ,  粘弾性 ,  挿入損
準シソーラス用語： ミリ波 ,  挿入損失 ,  波長可変

分類 (1件)： その他の伝送回路素子  (NC04070U)

タイトルに関連する用語 (9件)： ミリ波 ,  波長可変 ,  移相器 ,  応用 ,  ストローク ,  千鳥配置 ,  縦型 ,  櫛形 ,  アクチュエータ