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J-GLOBAL ID：201302293646899615   整理番号：13A0077552

ドープシリコンナノワイヤに基づく高感度湿度センサの作製およびモデリング

Fabrication and modeling of high sensitivity humidity sensors based on doped silicon nanowires

著者 (5件)： TAGHINEJAD H. (Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...) ,  TAGHINEJAD M. (Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...) ,  ABDOLAHAD M. (Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...) ,  SAEIDI A. (Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...) ,  MOHAJERZADEH S. (Thin Film and Nano-Electronic Lab, Nano-Electronic Center of Excellence, School of Electrical and Computer Eng. ...)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 176  ページ： 413-419  発行年： 2013年01月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンナノワイヤに基づく高感度容量型湿度センサを取得する新規法を報告する。蒸気-液体-固体法によりシリコンナノワイヤを成長させた。ナノワイヤをドーピングする結果,デバイスの感度は明白に改善することが観察された。感度に及ぼすドーピング作用の機構を説明するため,赤外分光法によって支持される回路モデルを提示した。成長圧力を変化させることにより,異なる太さおよび密度のナノワイヤを取得できることを観察した。さらに,高密度のナノワイヤはセンサの応答に構造的影響を及ぼすことを示した。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  *湿度センサ ,  気液固反応 ,  ドーピング ,  回路モデル
準シソーラス用語： *シリコンナノワイヤ

分類 (1件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高感度 ,  湿度センサ ,  作製 ,  モデリング