文献

J-GLOBAL ID：201302293671656530   整理番号：13A0778777

新奇のたわみ機構により可能となった大ストロークの静電コム駆動アクチュエータ

Large Stroke Electrostatic Comb-Drive Actuators Enabled by a Novel Flexure Mechanism

著者 (4件)： OLFATNIA Mohammad (Univ. Michigan, MI, USA) ,  SOOD Siddharth (Univ. Michigan, MI, USA) ,  GORMAN Jason J. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  AWTAR Shorya (Univ. Michigan, MI, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 22  号： 2  ページ： 483-494  発行年： 2013年04月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSコム駆動アクチュエータのストロークを最大化するたわみ機構の設計における根本的な限界を調査した。アクチュエータのストロークを最大化するため,クランプ対二重平行四辺形(C-DP-DP)のたわみ機構を採用した。このC-DP-DPたわみ機構は,大きな変位の範囲で,低い運動方向の剛性(K_y)を維持しながら,高い支持方向の剛性(K_x)を提供した。その結果,高いK_x/K_y比は従来のものと比較して大きな作動ストロークを提供する。また,このたわみ機構において個々のビームの強化により,さらなる改善は達成される。さらに,このC-DP-DPたわみ機構は,4μmのコムギャップを用いて215μmのストロークを提供し,6μmのコムギャップを用いて245μmのストロークを提供した。

シソーラス用語： たわみ ,  *アクチュエータ ,  電極 ,  剛性 ,  駆動機構
準シソーラス用語： ストローク【長さ】 ,  櫛形電極 ,  行程【長さ】 ,  *制御機器 ,  *静電アクチュエータ ,  静電駆動

分類 (1件)： 電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： たわみ ,  ストローク ,  コム ,  アクチュエータ