抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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近年,安全・安心への関心の高まりから,非冷却赤外線センサに大きな注目が集まっている。非冷却赤外線センサは,物体からの熱放射による熱エネルギーを吸収し,電気信号に変換することで物体を検知する。よって熱源として物体の有無や位置を検知することは可能であるが,形状情報以外から熱源の正体を識別することは不可能であった。しかし,熱放射エネルギーを波長分解することができれば,放射スペクトルから検知物体の正体を識別することが可能になる。三菱電機は,近年発展著しい新たな光制御技術であるプラズモニクスを応用することで,所望の波長で赤外線を吸収する新たな吸収体(プラズモニック吸収体)を応用した非冷却赤外線センサを提案した。表面が金からなる二次元周期構造を持つプラズモニック吸収体について電磁界解析を行い,主に周期によって吸収波長が制御可能であることを示した。次に,様々な表面周期構造を持つプラズモニック吸収体を適用した非冷却赤外線センサを作製し,分光感度を評価した。プラズモニック吸収体の周期と等しい波長で感度が増強されており,解析結果とよい一致を示した。以上の経緯から,プラズモニック吸収体によって,表面構造の制御のみで,非冷却赤外線センサの検知波長を自由に設定することが可能であることを実証した。異なる検知波長を持つ画素の集積化が容易であるため,将来的に,赤外域でも可視域におけるカラーイメージセンサに相当する多波長検知画像センサの実現が期待される。(著者抄録)
