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J-GLOBAL ID：201302299152181485   整理番号：13A0604343

多層コーティング法に用いるBNの損耗率測定および較正係数の決定

Measurement of Erosion Rate of BN Used in Multilayer Coating Method and Determination of the Calibration Factor for the Difference

著者 (10件)： 細田誠也 (東大 大学院工学系研究科) ,  張科寅 (東大 大学院工学系研究科) ,  川嶋嶺 (東大 大学院工学系研究科) ,  藤田大樹 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  伊藤裕樹 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  SCHOENHERR Tony (東大 大学院工学系研究科) ,  小泉宏之 (東大 先端科学技術研究セ) ,  小紫公也 (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  小林明 (大阪大 接合科研) ,  荒川義博 (東大 大学院工学系研究科)
資料名： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
巻： 20  号： 2  ページ： 126-129  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 多層コーティング法を用い,ホールスラスタチャネル壁面材料窒化ホウ素(BN)における壁面損耗の空間分布及び絶対量を,短時間・リアルタイムで評価する方法について調べた。チャネル壁面材料としてのBN(製品BN)と,本論文中のスパッタリング法で成膜されたBN(成膜BN)では結晶構造に違いがあるため,成膜BNと製品BNのキセノンイオンに対する損耗率を測定し,成膜BNへの較正係数を求めることを実験の目的とした。その結果,成膜BNは製品BNに比べ,4.32倍損耗しやすかった。製品BNのスパッタリング率は他データと同様の傾向を示し,成膜BNはこれらとは明らかに異なる傾向を示した。多層コーティング法を行う際には,成膜BNに対する較正が必要である。今後,実際にチップ上に入射するイオンビーム電流を計測することで,より正確なBNのスパッタリング率を求め,較正係数の算出を行う必要がある。

シソーラス用語： *窒化ホウ素 ,  *多層膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  イオンビーム ,  衝突 ,  *溶損 ,  空間分布 ,  係数
準シソーラス用語： 壁面衝突 ,  *損耗【耐火物】 ,  較正係数

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (11件)：

• 1) K. Kuriki, Y. Arakawa, Introduction of Electric Propulsion, University of Tokyo Press, 2008.
• 2) Peter Y. Peterson, David H.Manzella, Investigation of the Erosion Characteristics of a Laboratory Hall Thruster, AIAA-2003-5005, 2003.
• 3) D. Pagnon, M. Touzeau, P. Lasgorceix, Control of the Ceramic Erosion by Optical Emission Spectroscopy: parametric studies of SPT100-ML, AIAA-2004-3773, 2004.
• 4) N. Yamamoto, S. Yokota, S. Yasui, K. Komurasaki, Y. Arakawa, Lifetime Evaluation of Hall Thrusters Using Absorption Spectroscopy, Space Transportation Symposium, 2005.
• 5) S. Yokota, Y. Fukushima, D. Sakoh, K. Komurasaki, Y. Arakawa, A. Kobayashi, Lifetime measurement method for hall thrusters using a multi-layer coating, Journal of IAPS Vol.15-1, 2007.

タイトルに関連する用語 (5件)： 多層コーティング ,  BN ,  損耗 ,  較正 ,  係数