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J-GLOBAL ID：201302299639935272   整理番号：13A1783477

白金ナノ薄膜の水素応答評価

著者 (6件)： 武市修蔵 (岡山大) ,  奥井貴博 (岡山大) ,  牛田祐貴 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 電気・情報関連学会中国支部連合大会講演論文集(CD-ROM)  (電気・情報関連学会中国支部連合大会(CD-ROM))
巻： 64th  ページ： 419  発行年： 2013年10月01日 
JST資料番号： L1892B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノ構造 ,  *超薄膜 ,  白金 ,  *水素エネルギー ,  *ガスセンサ ,  チタン ,  評価試験 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  スパッタリング ,  電気抵抗 ,  電流 ,  応答時間 ,  高速化 ,  ナノシート ,  ガラス基板 ,  ナノ薄膜 ,  *水素センサ
準シソーラス用語： バイアス電流 ,  水素応答 ,  *白金ナノ薄膜 ,  膜圧

分類 (4件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  エネルギー消費・省エネルギー  (LD01000B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 白金 ,  ナノ薄膜 ,  水素 ,  応答 ,  評価