特許
J-GLOBAL ID:201303002878003420

感光性樹脂組成物及びその用途

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 住吉 秀一 ,  宮城 康史 ,  茜ヶ久保 公二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-165910
公開番号(公開出願番号):特開2013-029683
出願日: 2011年07月28日
公開日(公表日): 2013年02月07日
要約:
【課題】パターン形成時等のフィルム貼り付きが生じないか、十分に低減することが可能な感光性樹脂組成物、及び当該感光性樹脂組成物の硬化物を含む、ソルダーレジスト、層間絶縁材又はフレキシブル基板を提供する。【解決手段】側鎖にカルボキシル基を有する重合体のカルボキシル基の一部に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させて得られ、一般式(I):-Y-CO-X-C(O)O-(式中、Xは芳香環を少なくとも1つ以上含む有機基を表し、Yは、-(R1O)n-(C(O)(CH2)mO)l-、又は-OR2-(OC(O)-R3)o-(OC(O)O-R4)p-O-を表す。但し、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立して、炭素数2〜8個のアルキレン基を表し、nは1〜15の整数、mは3〜10の整数、lは0〜10の整数、oは0〜10の整数、pは1〜10の整数を表す。)で表される2価の有機基を側鎖に有する樹脂(A)と、光重合開始剤(B)と、分子内に2個以上のエポキシ基を有する多官能性エポキシ化合物(C)と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
側鎖にカルボキシル基を有する重合体のカルボキシル基の一部に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させて得られ、下記一般式(I) -Y-CO-X-C(O)O- (I) (式中、Xは芳香環を少なくとも1つ以上含む有機基を表し、 Yは、 -(R1O)n-(C(O)(CH2)mO)l- 又は -OR2-(OC(O)-R3)o-(OC(O)O-R4)p-O-を表す。但し、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立して、炭素数2〜8個のアルキレン基を表し、nは1〜15の整数、mは3〜10の整数、lは0〜10の整数、oは0〜10の整数、pは1〜10の整数を表す。)で表される2価の有機基を側鎖に有する樹脂(A)と、 光重合開始剤(B)と、 分子内に2個以上のエポキシ基を有する多官能性エポキシ化合物(C)と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  C08G 59/17 ,  C08F 290/12 ,  H01L 21/027
FI (5件):
G03F7/038 501 ,  G03F7/004 501 ,  C08G59/17 ,  C08F290/12 ,  H01L21/30 502R
Fターム (84件):
2H125AC32 ,  2H125AC44 ,  2H125AC45 ,  2H125AC46 ,  2H125AC72 ,  2H125AC74 ,  2H125AD07 ,  2H125AE06P ,  2H125AE15P ,  2H125AN36P ,  2H125AN80P ,  2H125AN82P ,  2H125AP10P ,  2H125BA16P ,  2H125BA22P ,  2H125BA33P ,  2H125BA38P ,  2H125CA13 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD06P ,  2H125CD34 ,  4J036AA01 ,  4J036AA02 ,  4J036AD08 ,  4J036AD11 ,  4J036AF06 ,  4J036CA21 ,  4J036DA01 ,  4J036DB15 ,  4J036DB22 ,  4J036DC31 ,  4J036HA02 ,  4J036JA10 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB032 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BD041 ,  4J127BD061 ,  4J127BD172 ,  4J127BE05X ,  4J127BE051 ,  4J127BE11X ,  4J127BE111 ,  4J127BE24X ,  4J127BE241 ,  4J127BE25X ,  4J127BE251 ,  4J127BE29Y ,  4J127BE291 ,  4J127BE31Y ,  4J127BE311 ,  4J127BE34X ,  4J127BE341 ,  4J127BF38X ,  4J127BF381 ,  4J127BF39X ,  4J127BF391 ,  4J127BF42X ,  4J127BF421 ,  4J127BF47X ,  4J127BF471 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG101 ,  4J127BG12X ,  4J127BG121 ,  4J127BG16X ,  4J127BG161 ,  4J127BG17X ,  4J127BG171 ,  4J127CA01 ,  4J127CB281 ,  4J127DA52 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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