特許
J-GLOBAL ID:201303002878003420
感光性樹脂組成物及びその用途
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
住吉 秀一
, 宮城 康史
, 茜ヶ久保 公二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-165910
公開番号(公開出願番号):特開2013-029683
出願日: 2011年07月28日
公開日(公表日): 2013年02月07日
要約:
【課題】パターン形成時等のフィルム貼り付きが生じないか、十分に低減することが可能な感光性樹脂組成物、及び当該感光性樹脂組成物の硬化物を含む、ソルダーレジスト、層間絶縁材又はフレキシブル基板を提供する。【解決手段】側鎖にカルボキシル基を有する重合体のカルボキシル基の一部に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させて得られ、一般式(I):-Y-CO-X-C(O)O-(式中、Xは芳香環を少なくとも1つ以上含む有機基を表し、Yは、-(R1O)n-(C(O)(CH2)mO)l-、又は-OR2-(OC(O)-R3)o-(OC(O)O-R4)p-O-を表す。但し、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立して、炭素数2〜8個のアルキレン基を表し、nは1〜15の整数、mは3〜10の整数、lは0〜10の整数、oは0〜10の整数、pは1〜10の整数を表す。)で表される2価の有機基を側鎖に有する樹脂(A)と、光重合開始剤(B)と、分子内に2個以上のエポキシ基を有する多官能性エポキシ化合物(C)と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
側鎖にカルボキシル基を有する重合体のカルボキシル基の一部に、エポキシ基含有不飽和化合物を付加させて得られ、下記一般式(I)
-Y-CO-X-C(O)O- (I)
(式中、Xは芳香環を少なくとも1つ以上含む有機基を表し、
Yは、
-(R1O)n-(C(O)(CH2)mO)l- 又は
-OR2-(OC(O)-R3)o-(OC(O)O-R4)p-O-を表す。但し、R1、R2、R3およびR4は、それぞれ独立して、炭素数2〜8個のアルキレン基を表し、nは1〜15の整数、mは3〜10の整数、lは0〜10の整数、oは0〜10の整数、pは1〜10の整数を表す。)で表される2価の有機基を側鎖に有する樹脂(A)と、
光重合開始剤(B)と、
分子内に2個以上のエポキシ基を有する多官能性エポキシ化合物(C)と、を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/038
, G03F 7/004
, C08G 59/17
, C08F 290/12
, H01L 21/027
FI (5件):
G03F7/038 501
, G03F7/004 501
, C08G59/17
, C08F290/12
, H01L21/30 502R
Fターム (84件):
2H125AC32
, 2H125AC44
, 2H125AC45
, 2H125AC46
, 2H125AC72
, 2H125AC74
, 2H125AD07
, 2H125AE06P
, 2H125AE15P
, 2H125AN36P
, 2H125AN80P
, 2H125AN82P
, 2H125AP10P
, 2H125BA16P
, 2H125BA22P
, 2H125BA33P
, 2H125BA38P
, 2H125CA13
, 2H125CB02
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD06P
, 2H125CD34
, 4J036AA01
, 4J036AA02
, 4J036AD08
, 4J036AD11
, 4J036AF06
, 4J036CA21
, 4J036DA01
, 4J036DB15
, 4J036DB22
, 4J036DC31
, 4J036HA02
, 4J036JA10
, 4J127AA03
, 4J127AA04
, 4J127BB032
, 4J127BB041
, 4J127BB081
, 4J127BB221
, 4J127BB222
, 4J127BC031
, 4J127BC151
, 4J127BD041
, 4J127BD061
, 4J127BD172
, 4J127BE05X
, 4J127BE051
, 4J127BE11X
, 4J127BE111
, 4J127BE24X
, 4J127BE241
, 4J127BE25X
, 4J127BE251
, 4J127BE29Y
, 4J127BE291
, 4J127BE31Y
, 4J127BE311
, 4J127BE34X
, 4J127BE341
, 4J127BF38X
, 4J127BF381
, 4J127BF39X
, 4J127BF391
, 4J127BF42X
, 4J127BF421
, 4J127BF47X
, 4J127BF471
, 4J127BG05X
, 4J127BG051
, 4J127BG10Y
, 4J127BG101
, 4J127BG12X
, 4J127BG121
, 4J127BG16X
, 4J127BG161
, 4J127BG17X
, 4J127BG171
, 4J127CA01
, 4J127CB281
, 4J127DA52
, 4J127FA18
, 4J127FA38
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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