特許

J-GLOBAL ID：201303004048480792

静電レンズシステム

発明者： ダン ニコラエスク ,  後藤 康仁
出願人/特許権者： 国立大学法人京都大学
代理人 (5件)： 山田 威一郎 ,  立花 顕治 ,  田中 順也 ,  松井 宏記 ,  山下 未知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-082301
公開番号（公開出願番号）：特開2013-211231
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
要約：

【課題】発散角が大きくても、放出された電子ビームを平行化することが可能な静電レンズ装置を提供する。【解決手段】静電レンズシステムは、発散性を有する荷電粒子を放出する荷電粒子源1と、前記荷電粒子源1から放出された荷電粒子を平行化させるレンズ電極3と、放出された前記荷電粒子が集束し、前記レンズ電極3と電位差を有するターゲット電極と、を備え、前記レンズ電極3の内壁面31は、荷電粒子の進行方向に行くにしたがって内径が大きくなる領域を有する筒状に形成されており、さらに、以下の曲面に沿うように規定される、静電レンズシステム。式(1)y=k/x(k<0,x>0)により表された曲線を、x軸と平行な直線または前記曲線と2箇所で交差する直線の周りに回転させることで形成される曲面。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

発散性を有する荷電粒子を放出する荷電粒子源と、 前記荷電粒子源から放出された荷電粒子を平行化させるレンズ電極と、 放出された前記荷電粒子が集束し、前記レンズ電極と電位差を有するターゲット電極と、 を備え、 前記レンズ電極の内壁面は、荷電粒子の進行方向に行くにしたがって内径が大きくなる領域を有する筒状に形成されており、さらに、以下の曲面に沿うように規定される、静電レンズシステム。 式(1)y=k/x(k<0,x>0)により表された曲線を、x軸と平行な直線または前記曲線と2箇所で交差する直線の周りに回転させることで形成される曲面。

IPC (4件)：

H01J 37/12 ,  H01J 1/304 ,  H01J 37/063 ,  H01J 37/08

FI (4件)：

H01J37/12 ,  H01J1/30 F ,  H01J37/063 ,  H01J37/08

Fターム (8件)：

5C030BB17 ,  5C030DF01 ,  5C030DF02 ,  5C033CC00 ,  5C033CC04 ,  5C135AC11 ,  5C135EE11 ,  5C135HH05