特許
J-GLOBAL ID：201303004822882459
テラヘルツ波検出装置、イメージング装置および計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-232556
公開番号（公開出願番号）：特開2013-092374
出願日： 2011年10月24日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：
【課題】従来よりも小型化が可能なテラヘルツ波検出装置、イメージング装置および計測装置を提供すること。【解決手段】テラヘルツ波検出装置1は、選択的に所定の波長のテラヘルツ波を熱に変換する波長フィルター2と、波長フィルター2を通過した前記所定の波長のテラヘルツ波を熱に変換して検出する検出部3と、を備え、波長フィルター2は、テラヘルツ波が入射する入射面と所定の波長のテラヘルツ波が射出する射出面とを連通する複数の孔部51を有する金属膜5と、検出部3との間にテラヘルツ波を吸収する材料を含むテラヘルツ波吸収層4と、を有し、複数の孔部51は、入射面52の法線に垂直な方向に沿って所定のピッチで設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定の波長のテラヘルツ波を熱に変換する波長フィルターと、
前記波長フィルターで変換された熱を検出する検出部と、を備え、
前記波長フィルターは、テラヘルツ波が入射する入射面と前記入射面に対向する面とを連通する複数の孔部を有する金属層と、
前記金属層の前記入射面に対向する面に接して設けられ、かつ前記検出部においてテラヘルツ波の入射方向の面に接して設けられ、かつ前記テラヘルツ波を吸収する材料を含むテラヘルツ波吸収層と、を有し、
前記複数の孔部は、前記入射面の法線に垂直な方向に沿って所定のピッチで設けられていることを特徴とするテラヘルツ波検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N22/02 B
, G01N22/00 F
