特許
J-GLOBAL ID：201303007399644235

DA変換装置及びそれを用いた電子ビーム露光装置

発明者：
佐藤 高雅

佐藤 高雅 について

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吉野 亮三

吉野 亮三 について

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東野 敦

東野 敦 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について

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株式会社日立情報通信エンジニアリング

株式会社日立情報通信エンジニアリング について


代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-091762
公開番号（公開出願番号）：特開2013-223003
出願日： 2012年04月13日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
要約：
【課題】高速且つ高電圧のDA変換装置を提供する。【解決手段】電流出力のDA変換器11と、DA変換器の出力電流に応じた電圧を発生させる低電圧動作の高速オペアンプ12と、高速オペアンプの出力端子に接続された高電圧動作するバッファーアンプ13とを設けたDA変換装置10において、DA変換器及び高速オペアンプの駆動用の電源として、電源系統から分離された正及び負のフローティング電源14a、14bを設ける。さらに、このフローティング電源の電位の中点の部分をバッファーアンプの出力端子に接続することで、DA変換器と高速オペアンプとがバッファーアンプの出力電圧を中心に動作するようにした。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
電流出力型のDA変換器と、 非反転入力端子が前記DA変換器に接続され、反転入力端子が外部へ出力信号を出力する外部出力部に接続され、前記DA変換器の出力電流に応じた電圧を前記外部出力部に発生させるオペアンプと、 前記オペアンプの出力端子に接続されたバッファーアンプと、 前記DA変換器及び前記オペアンプに正及び負の電源電圧を供給するとともに、前記正及び負の電源電圧の中点の部分が前記バッファーアンプの出力端子と接続されたフローティング電源と、 を備えることを特徴とするDA変換装置。
IPC (2件)：
H03M 1/66 ,  H03M 1/74
FI (2件)：
H03M1/66 B ,  H03M1/74
Fターム (5件)：
5J022AB06 ,  5J022BA05 ,  5J022CB04 ,  5J022CF02 ,  5J022CF05
引用特許：
審査官引用 (9件)
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